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• 탐침형 원자 현미경, 探針型原子顯微鏡, Scanning Probe Microscope, SPM

  탐침(probe)으로 시료의 표면을 스캔(scan)하여 원자 지름의 수십분의 일인 0.01㎚ 수준까지 측정이 가능한 제3세대 현미경. 광학현미경이 최고 수천 배, 전자현미경이 수 십만배의 배율인데 비해 원자현미경은 수 천만배급이며, 3차원의 이미지를 얻을 수 있는 것 이외에 표면의 점탄성, 경도 등의 특성을 측정...